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中文名称:多靶材溅射系统

型号规格:explorer 14

负责人:朱瑄

E-mail:

生产厂商:Denton Vacuum,美国

机器状态:正常

对外服务:

联系电话:83395005

所在地点:超净室A区

主要性能指标:

三个3英寸靶枪; 配有不锈钢真空室,尺寸为18英寸*18英寸*12英寸; 配有可加温至400℃(故障),可旋转的6英寸工作台; 极限真空可抽至<5e -7mbar 。 cu,ni,al,ti,cr,wu,pd。。。

主要功能:

主要用于微纳研究中各类薄膜的加工制作。