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中文名称:台阶轮廓测量仪

型号规格:XP-2

负责人:王久洪

E-mail:jhw@mail.xjtu.edu.cn

生产厂商:AMBIOS/美国

机器状态:正常

对外服务:

联系电话:2983399513

所在地点:曲江校区西五楼洁净室

主要性能指标:

测试台阶厚度范围:100A~400 UM; 测试精度:0.1nm,10nm,30nm(10micro,100micro,400micro); 探头力的范围:0.05-10MG(静磁力系统); 样品厚度:1.25inches; 样品直径:200mm

主要功能:

常用附件:大尺寸200mm真空吸样台,光学变焦系统 主要用途:用于测量轮廓、台阶高度、膜厚、薄膜应力 主要应用领域:光电子器件、半导体器件、薄膜工艺、厚膜工艺