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中文名称:白光相干相关轮廓测量仪

型号规格:CCI 6000

负责人:王久洪

E-mail:jhw@mail.xjtu.edu.cn

生产厂商:Taylor Hobson,英国

机器状态:正常

对外服务:

联系电话:029-83395005

所在地点:曲江校区西五楼洁净室

主要性能指标:

Z轴分辨率:0.01nm,不确定度17nm,因子k=2 Z轴量程:100微米 量测范围(x*y) 0.36mm*0.36mm到1.8mm*1.8mm, 可水平方位拼接。 被测物体反射率:0.5﹪到100﹪ 常用附件:10,20,50倍光学镜头 注意事项:样品重量不能超过1kg。

主要功能:

主要用途:Mems微小尺寸计算,物体表面三维形貌,物体表面粗糙度 主要应用领域:MEMS结构,金属材料,复合材料,陶瓷材料等